设备型号：国仪量子SEM3200LV型

设备功能：

  本设备是一款低真空高性能扫描电子显微镜，配备钨灯丝电子枪、五轴全自动样品台及多探测器系统，支持低真空模式（5~650 Pa）下直接观察陶瓷、冷镶嵌样品、矿物样品、玻璃等不导电样品。配备常规能谱、背散射探测器，可实现自动聚焦、自动像散、自动亮度对比度。

核心性能亮点

• 高分辨成像：高真空下二次电子分辨率≤3.0 nm（30 kV）、≤5.0 nm（10 kV）、≤7.0 nm（3 kV）；背散射电子分辨率≤4.0 nm（30 kV）。

• 宽加速电压与放大倍数：加速电压0.2~30 kV，放大倍数1×~300,000×（底片），电子束束流0.5 pA~3 μA。

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• 大样品仓与全自动样品台：最大样品直径≥270 mm、高度≥53 mm；五轴电机驱动，承重≥500 g。